Sursă de alimentare pentru pulverizare catodică
-
Sursă de alimentare pentru pulverizare cu frecvență medie seria MSB
Sursa de alimentare RF din seria RHH se bazează pe o tehnologie matură de generare RF pentru a oferi clienților o sursă de alimentare RF cu putere mai mare, precizie sporită și răspuns rapid. Cu funcție de setare a fazei, control prin impulsuri, reglare digitală și alte funcții. Domenii aplicabile: industria fotovoltaică, industria afișajelor cu ecran plat, industria semiconductorilor, industria chimică, laborator, cercetare științifică, producție etc.
Procese aplicabile: depunere chimică în fază de vapori asistată de plasmă (PECVD), gravare cu plasmă, curățare cu plasmă, sursă de ioni de radiofrecvență, difuzie cu plasmă, pulverizare cu polimerizare cu plasmă, pulverizare reactivă etc.
-
Sursă de alimentare pentru pulverizare seria MSD
Sursa de alimentare pentru pulverizare DC din seria MSD adoptă sistemul de control DC de bază al companiei, combinat cu o schemă excelentă de procesare a arcului, astfel încât produsul are performanțe foarte stabile, fiabilitate ridicată a produsului, deteriorare mică a arcului și repetabilitate bună a procesului. Adoptă o interfață de afișare în chineză și engleză, ușor de utilizat.