Sursă de alimentare RF seria RHH

Imagine prezentată a sursei de alimentare RF din seria RHH

Scurtă descriere:

Sursa de alimentare RF din seria RHH se bazează pe o tehnologie matură de generare RF pentru a oferi clienților o sursă de alimentare RF cu putere mai mare, precizie sporită și răspuns rapid. Cu funcție de setare a fazei, control prin impulsuri, reglare digitală și alte funcții. Domenii aplicabile: industria fotovoltaică, industria afișajelor cu ecran plat, industria semiconductorilor, industria chimică, laborator, cercetare științifică, producție etc.
Procese aplicabile: depunere chimică în fază de vapori asistată de plasmă (PECVD), gravare cu plasmă, curățare cu plasmă, sursă de ioni de radiofrecvență, difuzie cu plasmă, pulverizare cu polimerizare cu plasmă, pulverizare reactivă etc.

Detalii produs

Etichete de produs

Trimiteți-ne un e-mail

Caracteristici

● Modele de montare pe jumătate de cărămidă și rack
● Adoptă control complet digital, cu un meniu de operare convenabil și bogat
● Funcții de reglare a frecvenței, impulsuri și sincronizare a impulsurilor
● Cu funcție de sincronizare a fazelor CEX
● Funcție de protecție perfectă

Detalii produs

Intrare	Tensiune de intrare: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Specificațiile speciale pot fi personalizate)
Intrare	Frecvență de intrare: 47~63Hz
Ieșire	Frecvență de ieșire: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Interval de reglare: ±5%
	Putere de ieșire: 1,5~5 kW
	Interval de reglare a puterii de ieșire: 1~100%
	Impedanță de ieșire: 50Ω+j0
	Interfață de ieșire: tip N
	Mod de ieșire: continuu, impuls
	Frecvența impulsurilor: 100Hz~100kHz
	Ciclu de funcționare: 5~95%
Indicele de performanță	Factor de putere: 0,98
	Precizie a stabilității frecvenței: ±0,005%
	Eficiență: 75% (la puterea nominală)
	Armonică: <45dBc
	Parazit: <50dBc
	Interfață de control externă: mărime analogică, comunicare și sincronizare
	Mod de comunicare: Interfață standard de comunicare RS485; Opțional Ether CAT, Ethernet industrial etc.
Notă: produsul continuă să se inoveze, iar performanța continuă să se îmbunătățească. Această descriere a parametrilor este doar cu titlu de referință.