Sursă de alimentare RF seria RHH
-
Sursă de alimentare RF seria RHH
Sursa de alimentare RF din seria RHH se bazează pe tehnologia matură de generare RF pentru a oferi clienților surse de alimentare RF cu o putere mai mare, o precizie mai mare și un răspuns rapid.Cu fază poate fi setată, puls controlabil, reglaj digital și alte funcții.Domenii aplicabile: industria fotovoltaică, industria de afișare cu ecran plat, industria semiconductorilor, industria chimică, laborator, cercetare științifică, producție etc.
Procese aplicabile: depunere chimică de vapori îmbunătățită cu plasmă (PECVD), gravare cu plasmă, curățare cu plasmă, sursă de ioni de radiofrecvență, difuzie cu plasmă, pulverizare prin polimerizare cu plasmă, pulverizare reactivă etc.