Sursă de alimentare RF
-
Sursă de alimentare RF seria RLS
Sursa de alimentare RF seria RLS adoptă amplificatorul de putere actual stabil și fiabil și sistemul de control DC de bază al companiei, astfel încât produsul să aibă performanțe foarte stabile și fiabilitate ridicată a produsului.Adopți interfața de afișare chineză și engleză, ușor de utilizat.Folosit în principal în industria fotovoltaică, industria de afișare cu ecran plat, industria semiconductorilor, industria chimică, laborator, cercetare științifică, producție etc.
-
RMA Series Matchers
Poate fi adaptat la sursa de alimentare RF seria RLS și este utilizat pe scară largă în gravarea cu plasmă, acoperire, curățare cu plasmă, degummare cu plasmă și alte procese.Când este utilizat singur, poate fi folosit împreună cu sursele de alimentare RF ale altor producători.
-
Sursă de alimentare RF seria RHH
Sursa de alimentare RF din seria RHH se bazează pe tehnologia matură de generare RF pentru a oferi clienților surse de alimentare RF cu o putere mai mare, o precizie mai mare și un răspuns rapid.Cu fază poate fi setată, puls controlabil, reglaj digital și alte funcții.Domenii aplicabile: industria fotovoltaică, industria de afișare cu ecran plat, industria semiconductorilor, industria chimică, laborator, cercetare științifică, producție etc.
Procese aplicabile: depunere chimică de vapori îmbunătățită cu plasmă (PECVD), gravare cu plasmă, curățare cu plasmă, sursă de ioni de radiofrecvență, difuzie cu plasmă, pulverizare prin polimerizare cu plasmă, pulverizare reactivă etc.