Sursă de alimentare pulverizată cu frecvență medie seria MSB

Scurta descriere:

Sursa de alimentare RF din seria RHH se bazează pe tehnologia matură de generare RF pentru a oferi clienților surse de alimentare RF cu o putere mai mare, o precizie mai mare și un răspuns rapid.Cu fază poate fi setată, puls controlabil, reglaj digital și alte funcții.Domenii aplicabile: industria fotovoltaică, industria de afișare cu ecran plat, industria semiconductorilor, industria chimică, laborator, cercetare științifică, producție etc.

Procese aplicabile: depunere chimică de vapori îmbunătățită cu plasmă (PECVD), gravare cu plasmă, curățare cu plasmă, sursă de ioni de radiofrecvență, difuzie cu plasmă, pulverizare prin polimerizare cu plasmă, pulverizare reactivă etc.

Detaliile produsului

Etichete de produs

Trimiteți-ne un e-mail

Caracteristici

● Stiluri de montare semi-caramida si rack

● Adoptă control digital complet, cu meniu de operare convenabil și bogat

● Funcții de reglare a frecvenței, puls și sincronizare a pulsului

● Cu functie de sincronizare a fazelor CEX

● Funcție de protecție perfectă

Detaliile produsului

Intrare	Tensiune de intrare: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (specificațiile speciale pot fi personalizate)
Intrare	Frecvența de intrare: 47~63Hz
Ieșire	Frecvența de ieșire: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	Interval de acordare: ±5%
	Putere de ieșire: 1,5 ~ 5 kW
	Interval de reglare a puterii de ieșire: 1 ~ 100%
	Impedanță de ieșire: 50Ω+j0
	Interfață de ieșire: tip N
	Mod de ieșire: continuu, impuls
	Frecvența pulsului: 100Hz~100kHz
	Ciclu de funcționare: 5~95%
Index-ul de performanță	Factor de putere: 0,98
	Precizia stabilității frecvenței: ±0,005%
	Eficiență: 75% (la puterea nominală)
	Armonic: ＜-45dBc
	Parazit: ＜-50dBc
	Interfață de control extern: cantitate analogică, comunicare și sincronizare
	Mod de comunicare: Interfață de comunicare standard RS485;Opțional Ether CAT, Ethernet industrial etc.
Notă: produsul continuă să inoveze, iar performanța continuă să se îmbunătățească.Această descriere a parametrului este doar pentru referință.