Sursa de alimentare cu comutare cu microunde este un nou tip de sursă de alimentare cu microunde bazată pe tehnologia invertorului de înaltă frecvență IGBT.Acesta integrează sursa de alimentare cu anod de înaltă tensiune, sursa de alimentare cu filament și sursa de alimentare cu câmp magnetic (cu excepția sursei de alimentare cu microunde de 3kW).Unda magnetronului asigură condiții de lucru.Acest produs este utilizat în MPCVD, gravarea cu plasmă cu microunde, degumarea cu plasmă cu microunde și alte domenii.